RF電源(高周波電源) – 20000W (13.56MHz) TS20
| 20000W_13.56MHz | |
|---|---|
| 型式 | TS20 |
| 出力電力 | 0～20000W（50Ω負荷） |
| 出力周波数 | 13.56MHz |
| 出力方式 | 連続出力 |
| 出力インピーダンス | 50±2Ω |
| 出力調整範囲 | 200～20000W連続可変（設定は10W刻み） 定格出力電力20000W |
| 周波数安定度 | ±0.005%（10～40℃）水晶発振 |
| 出力偏差 | 設定値(表示電力)の±1%以内または±10Wのうち大きい方 (定格出力時／周囲温度25℃／50Ω負荷) |
| 出力安定度 | 定格電力値に対し±1% (定格出力時／周囲温度25℃／50Ω負荷) |
| リップル含有率 | -45dBc以下 (定格出力時／周囲温度25℃／50Ω負荷) |
| 高調波 | 各高次高調波成分とも基本波に対し-50dBc以内 (定格出力時／周囲温度25℃／50Ω負荷) |
| 冷却方式 | 強制空冷（FAN風量：約6.0m3/min） 水冷（流量：12.0L/min／水圧：0.5Mpa（MAX）／温度：15～35℃／コネクタ形状：NPT1/2,female） |
| 制御方式 | CPUによるフィードバックコントロール |
| 出力コネクタ | EIA 1 5/8型レセプタクル |
| リモート端子 | Analogコントロール (D-Sub 25Pin) 本体側メス RS-232Cコントロール (D-Sub 9Pin) 本体側メス |
| 電源 | 3相 AC380-480V 50-60Hz 漏洩電流 6.7mA/AC400V以下 |
| 外形寸法 | (W)430mm×(D)650mm×(H)332mm 突起物含まず |
| 重量 | 約100.0kg |
| 保障期間 | 2年間 |
| 外形図 |  |
